氮化硅
氮化硅（Si₃N₄）：一种超硬、耐高温、抗热震的无机材料。它耐磨自润滑，耐酸碱腐蚀，兼具优异电绝缘性与低光损耗，是高端机械、电子及光子芯片的关键材料。| 材质 种类 | 材料特征 | 体积密度(g/cm3) | 洛氏硬度 (HRA) | 弹性模量 (GPa) | 抗弯强度 (MPa) | 抗压强度 (MPa) | 导热系数 (25℃) {W/(m.k)} | 热膨胀系数 (1x10-6/℃) (20-1000℃) |
断裂韧性 |
| 氮化硅(常压) | Si2N4 (pressureless sintering) | 3.18 | HV50:1400 | 300 | 600 | 3000 | 30 | 3 | 5-6 |
| 氮化硅(热压) | Si2N4 (Hot pressed) | 3.2 | HV50:1700 | 300 | 800 | 3000 | 50 | 3 | 6-7 |
此表中提供的信息仅供一般材料性能参考。客户应认识到，材料的确切特性可能因产品配置而异，但如果有规定，则可以对大多数特性的值进行密切控制。本文件中的任何内容均不提供或解释为绝对工程数据或构成担保或陈述。请联系东新以获得成本效益高的设计、开发和制造帮助。
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